TaN/NiCr

電(diàn)阻層

Sputter

5Ω/□～200Ω/□；溫度系數：-20±60ppm（-50~150℃）

TiW

黏附層/阻擋層

Sputter

20nm～80nm

Ti

黏附層

Sputter

20nm～80nm

Cr

黏附層

Sputter

20nm～80nm

Pt

阻擋層

Sputter

20nm～100nm

Ni

阻擋層

Sputter or plate

Sputter：0.1μm～1μm plate： 0.5μm～10μm

Cu

導體(tǐ)

Sputter or plate

Sputter：0.1μm～5μm plate： 1μm～10μm

Au

導體(tǐ)

Sputter or plate

Sputter：0.05μm～0.2μm plate： 0.3μm～10μm